Idea-PECVD(OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE)辉光影响因素探索

发布时间:2020-12-17

实验设备及参数:氩气氛围,OTF-1200X-50S-PE-SLOTF-1200X-50-4CLV-PE(管径80PE最大功率500W)、VRD-8VRD-16VRD-24VRD-48,质子流量计、OTF-1200X-50S-PE-SL                                         进气速率0-300sccmOTF-1200X-50-4CLV-PE进气速率0-1000sccm

实验目的:通过控制进气量,测试不同型号泵的抽速对PECVD起辉效果的影响。通过控制进气量,测试管径、最大功率对PECVD起辉效果影响


实验结论:

1对于使用同一台机械泵,进气端靠近线圈比进气端远离线圈时所需起辉功率更小;

2在可起辉的真空范围内,起辉功率随着真空度升高而降低,但总体相差不大;

3相对于OTF-1200X-50S-PE-SL设备,随着进气量增大,系统真空度逐渐降低,需要更大抽速的机械泵维持系统的高真空度;

使用VRD-8VRD-16进气端靠近线圈时,进气量≦20sccm,辉光可充满全管,而进气端远离线圈时,需要进气量≦3sccm

使用VRD-24进气端靠近线圈时,进气量≦50sccm,辉光可充满全管,而进气端远离线圈时,需要进气量≦5sccm

使用VRD-48进气端靠近线圈时,进气量≦100sccm,辉光可充满全管,而进气端远离线圈时,需要进气量≦20sccm

4)对比OTF-1200X-50S-PE-SLOTF-1200X-50-4CLV-PE

相同进气速率下(尤其是高进气速率时),管径越大越易起辉;

相同进气速率下(尤其是高进气速率时),起辉功率越大辉光范围越长;

5PECVD使用期间,由于真空泵抽速影响会对浮子流量计产生影响,因此在进行边进气边抽真空的实验中要使用质子流量计控制进气量;

6进气量保持不变,调节进气针阀对系统真空度的影响:初期朝关闭方向旋紧针阀对系统真空度几乎无任何影响,在针阀即将关闭的最后一至半圈,旋紧针阀,系统真空度急剧增大。

实验步骤:

(1)按图示连接设备

1.jpg    2.jpg

进气端远离线圈图示                                  进气端靠近线圈图示

2)使用质子流量计控制进气量为300sccm,使用VRD-8最大抽速对整个系统进行抽真空,待系统稳定后记下泵口出小蓝表真空度,打开射频电源,测试系统可起辉的最小功率,待起辉后,将功率增大至300W,观察辉光变化并记录;

3)降低进气量(2001005020105310),重复上述实验;

4)实验结束后,调换进气口与泵抽气口位置,重复步骤(1)和(2)。

5)更换机械泵(VRD-16VRD-24VRD-48),重复步骤(1)、(2)和(3)。

6)使用VRD-48,更换OTF-1200X-50-4CLV-PE80管径)设备,进气量(1000,8005003002001005020105310重复上述实验。

实验结果:

1.jpg2.jpg

图 1.泵的抽速对辉光长度的影响(进气端靠近线圈)      图 2.泵的抽速对辉光长度的影响(进气端原理线圈)

3.jpg4.jpg

图 3.真空度(Torr)与流量的关系                           图 4.管径对辉光长度影响

 



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特别声明:

1. 以上所有实验仅为初步探究,仅供参考。由于我们水平有限,错误疏漏之处欢迎指出,我们非常期待您的建议。

2. 欢迎您提出其他实验思路,我们来验证。

3. 以上实验案例及数据只针对科晶设备,不具有普遍性。

4. 因为涉及保密问题,以上数据仅为部分数据,欢迎老师与我们联系,我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。



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