500W等离子刻蚀清洗机 (13.56MHz,60mm观察窗, 射频0-500W)
型号:
PCE-500W
产品概述:
PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MHz,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
主要参数

射频功率:0-500W


总功率:1.5KW


电源:AC220V 50/60Hz

射频电源

射频功率可在0-500W之间调节


频率:13.56MHz


注:可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

等离子腔体

8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体


铝制折叠式法兰来进行真空密封


法兰上有一个直径为60mm的观察窗口


此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

控制面板

通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等


仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量


真空泵(选配)

仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵


极限真空度为80mTorr(参考值,具体请点击)

通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)


不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

可选

可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片


可选购2-4通道质子或浮子混气系统  

   

产品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H

质保期

一年保质期,终生维护


特别提示:


1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。


2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

认证

·此产品已通过CE认证

  证书编号:M.2021.206.C67994

·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

技术参数-6.jpg


相关应用

请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率


对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 -100W之间


对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在300-500W之间

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