SOI基片
型号:
Si+SiO2+Si
产品概述:
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常规尺寸

dia4" 镀膜层:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped

技术参数

国产SOI:膜层厚度可以按照客户需求加工

①顶层2um±0.5(5点), BOX层2um±0.1 ,  P型,总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um

②顶层3um±0.5(5点), BOX层2um±0.1,P型,总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um

电阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm;

进口SOI:

点击查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx



常规尺寸

SOI

φ4″

SOI

φ4″

SOI

φ6″

SOI

φ6″-

SOI

φ6″-


备注

1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装

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