4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE

        操作视频

长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm

外径: 100mm 

内径: 96mm×长: 1800 mm

·最高温度: 1200℃

·额定工作温度: 1100℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

·加热区长度: L总：440mm（双温区包括隔环）

              温区一：200mm

              温区二：200mm

·加热炉额定功率：3KW

·滑动方式：电动控制

·滑动最大行程：600mm

·电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ

 欧陆EPC3000仪表

·模糊PID控制和自整定调节功能

·智能化24段可编程控制

·带过电流过电压保护 漏电保护

电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准

·控温精度: ±0.1℃

·控温：K型热电偶两根

·通讯协议：modbus RTU

· 可视化运行状态监控

· 温控系统，气路系统，真空系统，射频系统，滑动炉体，开合炉体，压力控制，全自动化，

· 数据记录、过程记录集成一体

· 预制工作流程，一键自动运行

· 具有恒压功能，可以设定气体流量和恒定压力

压力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的双旋真空泵，在总进气量为100-150sccm，管内压力为 100-130pa，如总进气量高于150sccm时，请更换抽速更高的泵，测试为总进气量为1L/min（满足四路质量流量计全开状态时），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空为120-130pa（满足起辉条件）,可在任意供气量下设定任意气压值（该气压值需大于搭配泵体的最大真空值），气压值可自动稳定

可方便快速取放物料

·500W射频电源

·0--500W可调（稳定性±1%）

·射频频率：13.56MHZ

·自动匹配 风冷

·噪音＜50dB

·输入电压：AC108-250V

·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）

·流量范围：一路0-100 sccm 

            二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 

注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下

·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）

·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）

·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

·真空度可达10^-2Torr

注：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况）