智能可滑动管式PECVD系统 (双温区,1200oC max, 80 管径)
关键字:
计算机控制, 管式可滑动PECVD,1200℃ PRCVD
型号:
OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL
产品概述:
OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL是传统PECVD与开发的智能通讯模块组合,可对传统PECVD实现自动化升级可自由搭配各种系统控制组合自定义CVD系统。是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源,80mm OD1800mm L的滑动式双温区管式炉,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。
免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

 智能双温区PECVD系统 OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL(2021.02.01—科晶实验室审核)


产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示


产品特点

·智能控制模块,参数显示更直观更易操作;

·射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

·4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

·炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。 


相关视频

image.png

           操作视频


加热炉参数

·双温区炉膛

·最高温度: 1200℃≤2h

·额定工作温度: 1100℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

(最高40℃/min 800℃ 注:急速升温影响设备使用寿命

·加热区长度: L总:400mm

             温区一:200mm

             温区二:200mm

·加热炉额定功率:3KW/220V (配置空开30A)

·滑动方式:手动

·电压:单相AC 208 - 240V, 50HZ

·石英管堵

·炉管规格:外径:80mm,内径:74mm,L长: 1800 mm

·材料:高纯石英


温控系统

·模糊PID控制和自整定调节功能

·智能化50段可编程控制

·具有超温及断偶报警功能

·控温精度: ±1℃

·RS485通讯接口  PC接入,并附带控制软件,加热炉数据可每分钟记录保存一次。

·带过电流过电压保护 漏电保护

电气元件及电缆,冷压端子均符合UL认证标准


软件控制

传统PECVD与开发的智能通讯模块组合,可对传统PECVD实现自动化升级

▪ 可自由搭配各种系统控制组合自定义CVD系统,例如温控系统可选择温区或各品牌仪表控制;气路系统可选择设备型号,计算气体总摩尔质量,可以搭配射频电源系统,真空系统等我公司生产的其他CVD系统模块,通过智能控制盒和上位机自定义CVD生态控制系统实现随意自定义组合CVD系统控制生态平台,控制可搭配触摸式一体机或者WIFI连接笔记本和台式设备,搭配智能控制盒扩展接口可利于客户后期采购任意CVD模块升级现有CVD设备,例如后期增加压力可控模块可在购买该系统模块后连接通讯线至智能控制盒,在软件界面选择该系统模块即可在现有的CVD模块控制界面添加压力可控功能。

▪ 使其具备了自动化运行,数据存储,以及远程操作性能

该模块可对所有我公司CVD模块进行连接,并搭配家用路由器可实现无线远程的操控和存储。

2.jpg


射频电源

·500W射频电源

·0--500W可调(稳定性±1%)

·射频频率:13.56MHZ

·自动匹配 风冷

·噪音50dB

·输入电压:AC108-250V


供气系统

·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)

·流量范围:一路0-100 sccm 

        0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 

·连接接口6.35mm双卡套连接

·金属管路:材质:SUS316

φ外:6.35mm φ内:4mm

·管路:材质:特氟龙

φ外:6.35mm φ内:4mm

注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下


真空系统

·采用TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)

·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

·配置KF-25真空手动挡板阀

·真空度可达10-2Torr


产品重量和尺寸

·炉体尺寸:2200 mm L*850mmW*1400mm H;

41.jpg


认证

·CE认证

·所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

·如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

图片1.png


承诺

·一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)


pecvd.png


警示

·炉管内气压不可高于0.02 MPa;

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

·石英管的长时间使用温度<1100℃;

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。


应用技术提示

·通入炉内气体流量需小于200 sccm,以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击;

·加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02 MPa,需立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等)。

·采用氩气高于射频功率200w情况下,需特殊说明,设备需要特殊改造及测试,(有法兰过热情况)

·压力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的双旋真空泵,在总进气量为100-150sccm,管内压力为 100-130pa,如总进气量高于150sccm时,请更换抽速更高的泵,测试为总进气量为1L/min(满足四路质量流量计全开状态时),使用VRD-60泵(抽速18L/s),最高真空为120-130pa(满足起辉条件)

·如需对管内压力测控,需搭配恒压系统,恒压系统可连接CVD生态控制系统

·配置石英管堵时,为避免负压造成管堵移位,管堵损坏,请在真空泵开启前先关闭真空挡板阀,后缓慢开启真空挡板阀,避免管压差过大导致管堵移动,撞击法兰损坏。  




相关产品
公司环境

23453[1].png   微信截图_20220311162937.png

合肥科晶品牌纪录片                                      公司环境

免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
附件

Copyright © 2019 开云官网 版权所有 皖ICP备09007391号-1     皖公网安备 34012302000974号

在线产品展示

设备销售咨询

晶体销售咨询

售后咨询