铝酸镁钪(ScMgAlO4)
型号:
ScMgAlO4
产品概述:
ScMgAlO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料,是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScMgAlO4晶体属于六方晶系,晶格常数a=0.3246nm,c=2.5195nm,具有菱形六面体层状结构,与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。
ScMgAlO4是一种与GaN和ZnO晶格常数和结构非常匹配的衬底材料(表1)。它与GaN的晶格失配率约为1.8%,与ZnO的晶格失配率仅为0.09%,a轴的热膨胀系数为6.2x10-6/℃,c轴的热膨胀系数为12.2x10-6/℃,与GaN、ZnO外延薄膜之间的热膨胀系数失配比传统的蓝宝石和硅等衬底好的多。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
技术参数

·晶体结构:六方晶系

·晶格常数:a=0.3246nm,c=2.5195nm

·生长方法:提拉法


主要衬底材料与GaN及ZnO的晶格失配率:

衬底材料

ScAIMgO4

0001

ZnO

(0001)

SiC

(0001)

ß-Ga203

(100)

Al203

(0001)

Si

(111)

GaN失配

+1.8%

+2.3%

-3.5%

+5%

-13%

+16.9%

ZnO失配

+0.09%

- -

-5.2%

-6.5%

-18.4%

+40.1%





产品规格:

·常规晶向:

·常规尺寸:10x10x0.5mm、5x5x0.5mm

·表面粗糙度:<0.5nm

注:尺寸可按照客户要求定做


晶体缺陷

人工生长单晶有可能存在晶体内部缺陷


标准包装

1000级超净室,100级超净袋或单片盒封装


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