1200℃三温区管式炉(配381mm石英管,铰链式法兰)
关键字:
15英寸、排胶炉、大口径、电动开启
型号:
OTF-1100X-15-III
产品概述:
OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置50段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。
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型号

OTF-1100X-15-III

炉体结构

 双层壳体结构,并带有风冷系统


 采用氧化铝纤维作为炉膛材料


 加热元件:SiC棒


 设备中配有2个氧化铝管堵,以保证炉膛内部温度均匀性(炉体加热前,管堵必须塞入到炉管内部)


 此管式炉可作为退火或扩散管式炉(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载)


 电动开启式设计,使得用户操作更加简便


结构图氧化铝管堵晶片装载电动开启


加热区

 总加热区长度1000mm


 三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)


工作温度

 最高工作温度1100℃


 最高加热速率:10℃/min


 加热元件:SiC棒(36根)


温控系统

控温精度为+/-0.5℃

炉管

 15英寸高纯石英炉管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID.  x 1860mm L


 注意:石英炉管易碎,操作需谨慎

 


真空密封&法兰

 一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可使炉管内真空度达到10^-3torr(采用机械泵抽真空)


 左端法兰:安装有不锈钢针阀,Φ6.35的进气口


 右端法兰:KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)


可选

 此管式炉需定期校准,以保证温度的准确性和均匀性,我们可提供简单的校准工具


             ·1根1200mm的K型铠装热偶


             ·1个Omega温度校准仪表


             ·此型号管式炉只可选用机械泵,且最低真空度只能够抽到-0.05MPa,否则可能造成炉管损伤


             ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架


 可与手套箱系统联用,实现氧敏感性材料的烧结制备

           


电压

 三相380V,50/60 Hz

额定功率

 20KW

产品尺寸

 2300L x 1500W x 1400 H mm

 


净重

 300kg

质保期

 一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

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认证

 此产品已通过CE认证

 证书编号:M.2021.206.C67998

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