1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统
型号:
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE
产品概述:
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等离子增强双温区回转炉系统。此系统由射频电源、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的改性处理工艺中(如:粉体掺杂(空穴、间隙原子)、表面改性、表面包覆及制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

▪ 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE (2019.11.27—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示


展示

1.gif

        30ml粉料

产品特点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

• 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

• 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

• 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。  


工作电源

• 输入电压:AC208-220V,50/60Hz

• 总功率:<4KW


加热炉参数

▪ 最高温度:1100℃(<30min);连续工作温度:1000℃;

▪ 两个PID温度控制器及50段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

▪ 工作电压:110V;

▪ 额定功率:1.5KW;

▪ 回转炉旋转速度:0-5 rpm。

 OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1.png




更多参数请联系科晶销售部


射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。


300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

300W射频电源.jpg500W射频电源.jpg100W射频电源.png


真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。

 真空系统.png

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

 四通道质子图1.jpg  四路质子图2.png


循环水冷机

 标配KJ-5000循环水冷机,水流速率:16L/min

 水冷机.jpg

产品尺寸和重量

▪ 尺寸:1400mm L´600mm W´1240mm H

▪ 净重:90 kg 

 产品尺寸.jpg


认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

 认证.png


承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)


科晶应用技术实验室利用PECVD沉积Sb2Se3薄膜,实验结果如下:



组别

SEM结果

元素百分比

Sb (%)

Se(%)

未经任何处理的样品

1.jpg

2.jpg

40.01

59.99

75W等离子体处理5 min

3.jpg

4.jpg

41.04

58.96

150 W等离子体处理5 min

5.jpg

6.jpg

41.64

58.36

300 W等离子体处理5 min

7.jpg

8.jpg

41.86

58.14

小结:

(1)等离子体能改变Sb2Se3薄膜的形貌,同时改变Sb2Se3的组成;

(2)随着射频电源功率的增加,Sb2Se3中的Se百分含量降低。




组别

SEM结果

元素百分比

Sb (%)

Se(%)

10W3Pa条件下沉积Sb2Se3

9.jpg

10.jpg

40.01

59.99

75W133Pa条件下沉积Sb2Se3

11.jpg

12.jpg

70.28

29.72

75W3Pa且补充0.1g Se沉积Sb2Se3

13.jpg

14.jpg

43.13

56.87

75W3Pa且补充0.02g SnSe2粉末10%质量比Sb2Se3沉积Sb2Se3

15.jpg

16.jpg

Sn: 22.78 Sb: 25.77

51.44

小结:

(1)低功率等离子体条件下可得到近原子比的Sb2Se3;

(2)高压条件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜;

(3)添加Se会破坏PECVD沉积的Sb2Se3的原子比;

(4)当SnSe2质量比为10%时,可以得到Sb:Sn摩尔比接近于1的薄膜,该方法适用于掺杂。




XRD结果: 实验 17.jpg


pecvd.png


警示

▪ 炉管内气压不可高于0.02 MPa;

▪ 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

▪ 石英管的长时间使用温度<1100℃;

▪ 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。

应用技术提示

▪ 通入炉内气体流量需小于200 sccm,以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击;

▪ 加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02 MPa,需立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等)。


石英管

▪ 高纯异形石英管

▪ 尺寸:50 mm OD(两端)´60mm ID(中间)´1100mm L

密封法兰

▪ 一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头);

▪ 磁流体密封旋转接头安装在两端,以保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用,避免卷绕。

法兰 1.png  法兰 2.png

        配件法兰1               配件法兰2

进料/收料器

▪ EQ-PF-1S是一款容积式自动进料器,包含电动搅拌器及带有振动装置的不锈钢料斗,可实现固体粉料的自动化进料,从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理;

▪ 2L不锈钢收集桶安装在右侧,可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集(标配中包含)

进料器.jpg  收料器.png

        进料器                      收料器

防腐型真空表(可选)

▪ 输入电源24V,1A  DC(配有电压转换器);

▪ 测量范围3.8´10-5-1125 Torr;

▪ 数据显示:数显(屏幕尺寸为20´14mm),其单位为torr

▪ 连接:1/8"NPT 接头

▪ 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L´W´ H)

配件真空表.jpg

水冷机(可选)

▪ 工作电压:220V AC 50Hz

▪ 工作电流:220V,0.8~4.5A

▪ 压缩机功率:0.6 KW (0.8HP)

▪ 制冷量:2000W (7000Btu/hour)

▪ 冷却剂:R22/R410-a (650g)

▪ 温度控制:5~30℃

▪ 控温精度:±0.3℃

▪ 水流速率:16 L / min ( 高25m,35psi )

水冷机5300.png


控温仪表(可选)

▪ 单回路、双回路和三回路控制模式;

▪ 每个回路可实现双输入,双保护;

▪ 各回路可PID、串级、比率等回路控制;

▪ 数码显示,配备7个按键,可用于进行各控制回路的切换和参数修改;

▪ 最多可存储50个程序,每个程序最多可有3个不同的设定值(即3条不同的曲线),最多可设置500段升降温程序;

▪ 通讯方式多样,Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通讯接口,可连接PC进行远程控制。

欧陆.jpg

真空系统(可选)

▪ 科晶公司提供一系列低真空、高真空及进口高真空设备,以满足在不同真空条件下的实验需求。

低真空系统

国产高真空系统

进口高真空系统

低真空系统.png高真空.jpg进口高真空.png

                     

供气系统(可选)

▪ 科晶公司提供各种通道浮子、质子流量计可供选择,以实现气体流量的精确控制。


1浮子.png 1通道质子.jpg 2通道浮子.JPG 2通道质子.jpg3通道浮子(防腐).jpg

   单通道浮子     单通道质子        两通道浮子      两通道质子    多通道浮子(防腐)


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