供气系统CGM-2F
关键字:
两通道、惰性气体
型号:
CGM-2F
产品概述:
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用于小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统等
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

供气系统 CGM-2F

产品特点

· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

· 显示流量准确,可有效控制气体的消耗量

· 重量轻,方便移动

· 使用方便,无需通电

基本参数

· 浮子流量计量程:16-160ml/min

· 压力表量程:-0.1-0.15MPa

· 通气管道:φ6.35mm的聚四氟管

混气罐

· 内置一个不锈钢混气罐,可更好的混合气体

· 混气罐尺寸:直径64*长120mm 

气口与阀门

· 背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头,进气口通过四氟管连接气瓶,出气口通过四氟管连接到设备的进气口

· 前面板的三个不锈钢针阀控制气体的进出

设备外形尺寸

340mm(L)*300mm(W)*180mm(H)

图片1.png

重量

6KG

质保

一年保修,终身技术支持

· 因人为损坏或操作不当造成的损坏不在保修范围内

· 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,开启减压阀时应注意其工作压力使其PMAX<0.01MP,以免压力过大造成气路损坏

· 本设备不建议,不提倡使用,易燃易爆、有毒有害气体。如果不采纳我公司的建议,在使用过程中,出现人生安全及设备的损坏,本公司该不负责。

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