实验室小课堂-如何根据应用选择本公司溅射镀膜仪或蒸镀仪
发布时间：2020-07-17
应用 | 设备 | 特点 | |
1 | 表面镀贵金属用于薄膜研究（<2”） |
| 同一腔室中3靶头用于贵金属的溅射镀膜 |
2 | 表面镀各种金属用于薄膜研究（<2”） |
| 磁控溅射镀膜 ‚最大溅射电流可达150mA，ƒ可用于溅射各种轻金属如Al, Sn, Zn 等 |
3 | 表面镀绝大多数的金属或无机非金属材料薄膜（<2”） |
| 高真空蒸发镀膜仪 ‚蒸镀温度从200-1500℃（或选配B型热电偶，蒸镀温度可从1200-1700℃） |
4 | 表面镀氧化物薄膜（<2”）
| 1英寸或2英寸300W射频等离子磁控溅射仪VTC-2RF
| 低成本 ‚射频电源 |
5 | 各种材料表面进行光学涂层（多晶）（<4”） |
| 分子泵高真空 ‚4个蒸镀加热舟 |
6 | 金属及无机非金属氧化物薄膜的外延生长（<4”）
| DC/RF双靶头高真空等离子磁控溅射镀膜仪VTC-600-2HD
| 配备有直流以及射频电源，分子泵 ‚可用于各种材料薄膜的外延生长 ƒ同时配备测厚仪实时监控薄膜厚度 |
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皖公网安备 34012302000974号
