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1150℃三温区管式炉
- 关键字:
- 8.5英寸、排胶炉、大口径
- 型号:
- GSL-1100X-III-8.5T
- 产品概述:
- GSL-1100X-III-8.5T是一款通过CE认证并采用UL标准制造的一款三温区管式炉。该管式炉配备有8.5英寸的石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。最高工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
炉体结构
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石英管尺寸
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加热区
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工作温度
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最高工作温度 1150°C
连续工作: 200~1100°C
最大加热/冷却速率: 10°C/min
温度分布图:请点击这里放大观看
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温度控制
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配备一块触摸屏控制温度
三个加热区可分别设置30段升降温程序
控温精度+/- 1°C
每个温区都配备一个K型omega原装热电偶
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真空泵系统
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在炉子下方配备了一个数子分子泵系统
最高真空度可达10-5 torr
真空泵由触摸屏控制
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真空系统及法兰
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配备一对水冷密封法兰(铰链法兰)
左法兰配备:真空计和触摸屏控制的电磁阀(用于控制炉内气氛环境)
右法兰配备:KF40真空接口,用于连接真空泵接口上的电磁阀
法兰外端配备一个外径1/4"的热电偶插口,用于方便进行温度校准
炉子底部配备有一个16L/min水冷机,用于水冷法兰的供水
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可选
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可以另配混气系统用于CVD实验 |
额定电压
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单相, 220V AC, 50/60 Hz
包括AWG 8#电源线
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最大功率
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12KW (需50A的空气开关 ) |
产品尺寸
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L 1700×W 750 × H1800mm
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净重
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250Kg |
质保期
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一年质保期,终身维护(炉管,密封圈,加热元件易耗件除外) |
质量认证
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使用注意事项
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炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度<1100℃
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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