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1700℃三温区管式炉(配混气系统和真空系统)
- 关键字:
- 硅钼棒、硅碳棒、进气系统
- 型号:
- GSL-1700X-III-F3LV
- 产品概述:
- GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
炉体结构
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最大功率
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10KW(需要75A的空气开关 ) |
电压
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AC 380V 50 Hz |
加热区
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总加热区长度:25" (630 mm) 加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400℃ 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 升温速率:10°C/min 加热温区2长度:10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热,最高温度可达1700℃ 最快升温速率:5°C/min 加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400℃ 最大升温速率:10°C/min
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炉管和法兰尺寸
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99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube (标配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L 一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表 仪器中包括4个氧化铝管堵
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温控系统
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控温精确度
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+/-1°C |
低真空系统
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防腐型真空计
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其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
三路浮子混气系统
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尺寸
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高温炉: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
质保期
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一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈,炉管等耗材 .)
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