| 炉体结构 | 炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统 l 用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层（可提高加热效率和延长使用寿命） l 加热元件：掺钼铁铬铝合金（表面涂有氧化锆涂层，可延长使用寿命） l 开启式的炉体设计，使更换炉管更加方便 l 可手动变更炉体模式为立式炉，用于样品的吊烧和淬火
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| 电压&功率 | l 电压：AC220V，50/60Hz l 最大功率：12KW |
| 工作温度 | 最高工作温度1200℃ 连续工作温度1100℃ 1200℃＜半小时 |
| 最大加热速率 | 10℃/min |
| 石英管&管堵所放位置 | 炉管尺寸：OD: 100 mm×ID. 95mm×L2000mm 仪器中配有氧化铝管堵，使用时必须放在石英管两端（点击图片查看详细资料）
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| 密封法兰 | 设备中配有一套快捷开启式密封法兰（炉体两端带有支架，用于支撑法兰） l 左端法兰上安装不锈钢截止阀（用于通入气体）和机械真空表 l 右端法兰上安装不锈钢截止阀以及预留的KF25接头（用于连接真空泵）
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| 真空度 | l 10E-3Torr(采用机械泵) l 10E-5Torr(采用分子泵) |
| 加热区 | l 10个温区，每个温区长度为120mm l 总温区长度: 1570mm（含绝热层） 注意：可通过在温区之间添加绝热环来调节温度梯度 |
| 温控系统 | l 控制柜与炉体分开，采用触摸屏来操作来控制十个温区，每个温区有独立的控制通道。 l 每个控制通道可设置50段升降温程序 l 设有超温和断偶保护 l 控温精度为：+/- 1 ºC l 热电偶：采用K型铠装热电偶 l 控制面板上安装有RS485接口，可连接电脑将数据导出
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| 可选 | l 客户可选购多通道质量流量计供气系统，用于和管式炉配合来做CVD实验
l 可选购压力控制系统，来确保炉管内气压恒定
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| 产品尺寸 | 1980×1300×2500mm
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| 产品重量 | 200kg |
| 质保 | 一年质保期，终生维护（不含炉管、密封圈和加热元件等损耗件） |
| 质量认证 | 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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| 使用注意事项 | l 炉管内气压不可高于0.02MPa l 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 l 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 l 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 l 石英管的长时间使用温度≤1100℃ l 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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