·最大射频功率: 100 W

·真空泵功率: < 500W

·总功率: < 600W

·电源：AC 220V , 50Hz

·射频功率可在 0 - 100W之间调节

·频率: 13.56 MHz

·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验

·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

·铝制折叠式法兰来进行真空密封

·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

·此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏

·通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.

·仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

·极限真空度为50mTorr

·等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）

·不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

·可选购2-4通道质子或浮子混气系统

·620 L ×600 W ×600 H, mm

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书

·请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率

·对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间

·对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间

·可根据要求提供300W高功率射频电源