射频功率：0-500W

总功率：1.5KW

电源：AC220V 50/60Hz

射频功率可在0-500W之间调节

频率：13.56MHz

注：可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体

铝制折叠式法兰来进行真空密封

法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏

通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

极限真空度为80mTorr（参考值，具体请点击）

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）

不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

可选购2-4通道质子或浮子混气系统  

600mm L×600mm W×810mm H

一年保质期，终生维护

特别提示：

1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

·此产品已通过CE认证

  证书编号：M.2021.206.C67994

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率

对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 -100W之间

对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在300-500W之间