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2英寸高真空磁控溅射头
- 型号：
- HVMSS-SPC-2
- 产品概述：
- HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 特征
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· 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作 · 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布 · 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命 · 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配 · 安装是采用标准真空接头，便于操作 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度 
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| 所需功率
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· DC（最大）1000W RF（最大）500W |
| 最大溅射电流
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3A |
| 溅射电压
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100-1000V |
| 溅射时腔体真空度
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5-100 mTorr |
| 溅射均匀性曲线图
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| 尺寸
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阳极护套直径：3.5英寸 总长度：14英寸 |
| 靶材
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直径: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 对于非磁性靶材，最大厚度为1/8英寸
对于磁性靶材，最大厚度为1/16英寸 靶材利用率：30% 磁铁:NdFeB 稀土磁铁 |
| 需要冷却水
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流速:0.8 GPM 进水温度:<20 ℃ 水管:0.25" OD. |
| 可选配件
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· 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头 · 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
  循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
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| 外形尺寸
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| 质保
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一年质保期，终生维护 |
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