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4电弧提拉法单晶生长炉
- 关键字:
- 提拉法
- 型号:
- SP-MSM-4CZ
- 产品概述:
- SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
腔体
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l 采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水 l 腔体上安装有石英窗口,以便观察样品 l 腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵) l 腔体尺寸:Φ257*360mm
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真空计
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腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
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电弧枪
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l 共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水) l 钨电极直径为Φ4mm l 电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节 l 起弧电源: 18 V / 185 A 电压380V l 熔炼温度可达3000℃
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样品台
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l 采用水冷铜坩埚 l 可投如样品量为60g(按铁计算)
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提拉机构
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l 控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速 l 提拉速度:0.2-10mm/h l 提拉行程:0-70mm l 转速:0-40RPM
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控制单元
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可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速) |
真空泵
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l 设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵) l 抽气速率:100L/S l 可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)
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循环水冷机
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l 功率:800W l 水流速度:58L/min l 制冷能力:5004W(17500Btu/hour) l 温度控制:5~30 °C
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设备尺寸
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800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
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