• 包含卷对卷线材收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及四路质子流量计供气系统五部分

• 整套体系可在真空/气氛保护环境下工作

• 运动模块采用全进口控制组件，保证线材在管式炉中以稳定速度和张力进行走样，速度范围：1-400mm/min

• 线/带材速度及张力可调，张力范围：0.0611~0.611N

• 工作电源：AC220V，50/60Hz

• 功率：3KW

• 加热元件：电阻丝

• 最高温度：1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

• 长期使用温度：1100℃

• 推荐升温速率:≤ 20℃ /min

• 炉管：高纯石英管：φ60*1400mm

• 总加热区长度：400mm

• 恒温区长度：200mm

• PID控温，具有超温及断偶保护

• 控温精度：±1℃

• 放样筒径：OD140mm*ID65mm（可放样最大厚度：35mm）

• 筒宽：120mm

• 可调速范围：1-400mm/min

• 可放样直径：10μm~2mm

• 张力调节范围：0.0611~0.611N

• 放样筒采用气动夹爪连接方式，方便拆卸安装

• 配备500W功率可调等离子源，用于等离子增强反应活化，促进反应进行

• 输出功率：50-500W最大可调±1%

• RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%

• 噪声：≤55DB

• 冷却：风冷

• 输入功率：1KW  AC 220V

• 电压：AC220V/50Hz

• 功率：23W

• PLC触摸屏控制

• 混气罐尺寸：φ80*120mm

• 工作温度：5~45 ºC

• 最大压力: 3x106 Pa

• 精度: ±1.5% FS

• 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.

• 重复精度: ±0.2%F.S.

• 流量范围:

一路: 1~99 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1-499SCCM

气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

• 型号：PGC-554-LD

• 显示范围：3.8E-5 to 1125 Torr

• 精度：

5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 

1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 

100 … 950 mbar % of reading ±5 

950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

• 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器（PE材质）、电阻真空计以及连接管道接头等组成

• 真空泵抽气速率≥4.4L/s

• 极限真空度10-1Pa

• 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

• 2800mmL*1500mmW*1200mmH

• 一年保证期，终生维护

• 注：相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件

 • 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

·  炉管内气压不可高于0.02MPa

·  由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·  当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

·  进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·  石英管的长时间使用温度＜1100℃

·  对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）