| 设备名称 | 1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统 （2019.10.31-科晶实验室审核） |
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| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
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| 产品特点 | ▪ 炉体在0 - 25°内倾斜，有利于粉末样品的装卸； ▪ 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性； ▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控； ▪ 配备自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集。 |
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| 加热炉参数 | 三温区回转炉 ▪ 最高温度：1200℃（<30min）；连续工作温度：1100℃； ▪ 三个PID温度控制器及50段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 输入功率：208-240 V，单相，最大功率：4 KW； ▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗； ▪ 回转炉旋转速度：2-10 rpm； ▪ 炉体开启式设计以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
更多参数请联系科晶销售部 |
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| 射频电源 |
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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| 产品尺寸和重量 | ▪ 设备尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H ▪ 供气系统：600mm L×700mm W×700mm H ▪ 净重：180 kg
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| 认证 | ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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| 国家专利 | 专利名称：一种自动收送料等离子回转升降炉系统 专利号：ZL 2020 2 0542143.6 尊重原创、鄙视抄袭、侵权必究。 |
科晶应用技术实验室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）条件下沉积Sb2Se3薄膜，实验结果如下：
组别 | SEM结果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未经任何处理的样品
|
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| 40.01 | 59.99 |
等离子体处理
|
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| 41.04 | 58.96 |
等离子体处理 min
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| 41.64 | 58.36 |
等离子体处理5 min
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| 41.86 | 58.14 |
小结:
（1）等离子体能改变Sb2Se3薄膜的形貌，同时改变Sb2Se3的组成；
（2）随着射频电源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
组别 | SEM结果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、条件下沉积Sb2Se3
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| 40.01 | 59.99 |
75W、条件下沉积Sb2Se3
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 |
75W、且补充2粉末（10%质量比Sb2Se3）沉积Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小结:
（1）低功率等离子体条件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高压条件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se会破坏PECVD沉积的Sb2Se3的原子比；
（4）当SnSe2质量比为10%时，可以得到Sb：Sn摩尔比接近于的薄膜，该方法适用于掺杂。
XRD结果
警示 | （1）炉管内气压不可高于0.02 MPa； （2）由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全； （3）石英管的长时间使用温度＜1100℃； （4）当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 |
应用技术提示 | （1）通入炉内气体流量需小于200 sccm，以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击； （2）加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02 MPa，需立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出等）。 |
石英管 | （1）标准5英寸高纯异形石英管； （2）两端直径为60mm，中间直径为127mm。
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密封法兰 | （1）一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）； （2）磁流体密封旋转接头安装在两端，以保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕。 配件法兰1 配件法兰2 |
进料/收料器 | （1）EQ-PF-1S是一款容积式自动进料器，包含电动搅拌器及带有振动装置的不锈钢料斗，可实现固体粉料的自动化进料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理； （2）2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）
进料器 收料器 |
真空泵及真空表 | （1）EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数； （2）KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； （3）真空度可达10-2Torr； 注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
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四通道质子流量计控制系统 | （1）四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； （2）流量范围: 一路: 0-100 sccm 二路: 0-200 sccm 三路: 0-200 sccm 四路: 0-500 sccm （3）电压：208-240V AC 50/60Hz； （4）气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； （5）不锈钢针阀用于手动控制气体进出； （6）PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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