立式三温区管式炉 | • 立式三温区管式炉 • 工作电压:AC220V 单相 • 最大功率: 5KW • 三个加热区: 150mm+300mm+150mm • 总温区长度:600mm • 最高工作温度: 1200°C(<1hr) • 连续工作温度: 1100°C • 三个温区都采用PID方式调节温度,可程序控温,分别由3个独立的温控系统控制 • 用户需要探索所长晶体最合适的温度梯度 • 调节三个加热区的温度,来形成不同的温度梯度 • 所配石英管尺寸 :130mm O.D x 120mm I.D x 600mm L (用于保护电阻加热丝防止晶体生长过程中的腐蚀性挥发物,对电阻丝的腐蚀) • 在上部炉膛处开有一个Φ25mm的斜观察孔,用于在晶体生长过程中对籽晶和晶体液面进行观察。 |
视频 | 操作视频 |
温控系统 | • 采用三块欧陆仪表Eurotherm控制温度,控温精度可达±0.1℃ • 采用PID方式控温,可设置28段升降温程序 • 配置3根Ω铠装K型热电偶 |
籽晶杆固定件和坩埚 | • 标配有1套籽晶杆固定件,不锈钢材质,用于连接客户生长晶体所用的籽晶杆; • 可选配Φ80*80mm的铱金坩埚(需要单独付费); |
提拉机构控制系统 | 一、标准配置采用步进电机系统 • 采用6"L x 4"W的触摸屏来控制提拉机构的升降和旋转 • 提拉速度:0.8-50mm/h • 提拉杆转速:0.1-23r/min • 快速升降速度:40mm/min 二、可选配采用伺服电机系统 (提拉速度更为均匀稳定,改善单晶生长质量) • 提拉速度:0.8-50mm/h • 提拉杆转速:0.1-23r/min • 快速升降速度:40mm/min |
其他选配功能 | • 上部提拉密封系统,采用真空波纹管密封,可以实现在真空密封环境下进行提拉法生长晶体; • 下部称重系统,采用下称重方式,可以实现对生长晶体的自动精确控制。 |
产品外形尺寸 | • 1000mm(L) x 630mm(W) x 2260mm(H) |
温度校准系统 | • 标配K型热电偶温度校准系统,可插入炉膛内部进行温度梯度的测定 |
质保 | • 一年质保期,终生维护(不包含石英管,密封圈,加热元件) |
净重 | • 200kg |