| 设备名称 | • 旋转CVD管式炉系统--OTF-1250X-R8-III （2019.12.6—科晶实验室审核） |
| 产品提示 | |
| 主要特点 | • 开启式管式炉设计方便进行炉管的更换和维修 • 炉管旋转速度可调（0-10rpm） • 炉管倾斜角度可调（0-15°） • 可大批量处理粉料（每批25Kg） |
| 基本参数 | • 连续工作温度： 石英管：400~1100℃（最高工作温度：1200℃） NiCrAl合金管：400~1250℃（最高工作温度：1250℃） • 建议升温速率：≤10℃/min • 恒温精度：±1℃ • 电源：AC208-240，三相 • 炉体最大功率：30KW 更多参数请联系科晶销售部 |
| 加热元件 | • SiC棒 |
| 温控系统 | • PID自动控温系统 • 智能化50段可编程控制 • 具有超温及断偶报警功能 • 通信端口：RS485 |
| 炉体结构和炉管尺寸 | • 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 • 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） • 一个直流电机驱动炉管转动，转速可调（0-10 r/min）。 • 高纯石英管尺寸：8.5" OD x 8.1" ID x 63" L 内部焊接有扬料板，使粉体烧结更加充分和均匀 • NiCrAl合金管尺寸：8" OD x 7" ID x 63" L • 两个氧化铝管堵与法兰连接置于炉管两端随炉体转动，防止热量以热辐射的形式损失 |
| 密封法兰 | 炉管包含一套密封法兰，标准配置如下： • 采用铰链式法兰（方便进行装卸料） • 机械压力表（范围-0.1MPa~0.15MPa） • 不锈钢针阀&1/4"软管接头，KF25真空接头以及1/4"接头 • 旋转接头：采用动密封旋转接头，进气口Φ6mm，所有配件都为可旋转配件 注意：由于石英管和合金管外径不同，故两管法兰不能互换使用 |
| 尺寸 | • L1600mm * W800mm * H1900mm |
| 重量 | • 约900 Kg |
| 质保 | • 一年质保期，终生维护 • 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
| 认证 | • 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
科晶实验室对旋转炉设备做了一系列实验研究：
一、热处理实验结果：
实验 | 结果 |
碳粉 |  |
氧化锆球 |  |
沥青 |  |
二、CVD实验结果：
实验 | 结果 |
乙炔氛围包覆碳 | 高温时，粉末粘黏石英管内壁，包覆率为2% |
混合气氛围包覆碳 | 高温时，粉末粘黏石英管内壁 |
氧化物小球包覆沥青 | 轻微结块，包覆率为13% |
发生粉末堵塞法兰现象：
使用粉末过滤器过滤尾气，可避免堵塞情况发生：
若有疑问或需要更多详细数据请联系科晶实验室
应用技术提示 | • 使用冷阱时，由于是刚性连接，注意冷阱与腔体保持在同一水平线上，避免腔体升降产生应力导致接口脱离。 • 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。 • 各型号回转炉的装料量。
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警示 | • 降温时请利用程序降温，不建议直接按：“STOP”键降温，设备温度500度以上禁止关闭电源，以免发生误开误伤事故。 • 不得通入氯化物，硫化物等易腐蚀气体，易造成法兰，波纹管（选配）等不锈钢材质的配件损坏。 • 请注意选配的炉管使用的温度。选配炉管具体情况请和我公司销售沟通。 • 高温炉炉管不建议正压使用，若使用正压压强炉管内气压绝不可高于0.02MPa。 • 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。 • 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当。 • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 • 石英管的长时间使用温度＜1000℃。 |
相关可选 | ·可选用真空系统配套使用： 机械泵真空度达 50 mtorr(图1)； 分子泵真空度可达 10E-4 torr。(图2) ·如果使用腐蚀性气体，请使用冷阱或防腐干泵。(图3) ·可选购合肥科晶的减压阀配套使用。(图4) ·对于化学气相沉积涂层，您可以选择我们的多通道气体输送系统和自动送气系统。（图5） ·可选购本公司的自动进料器，与回转炉配合使用。（图6） ·在炉管的另一端安装一个不锈钢罐，用来收集烧结后的粉末，整个过程密闭。（图7） ·为了使固体粉末顺利流入加工管，您可能需要带KF25开口的管法兰（图8）将两个可能的旋转组件（图9、图10）中的一个连接到KF25法兰上。 ·全新笔记本电脑，配备Windowns 10和Office 2013（30天免费试用）可即时使用（图11），基于Labview的温度控制系统(EQ-MTS01)使用户能够编辑温度剖面，管理热处理配方，记录和绘图数据（图12）。无线遥控提供了高达300米的操作范围。 注:本软件仅与科晶宇电温控器兼容 ·微量氧分析仪（0-1000ppm）。（图13） 注意：氧分析仪需安装在一侧法兰处并且保持气体流动进行测试分析 图1 图2 图3 图4
图5 图6 图7 图8 图9 图10 图11
图12 图13 |
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