| 设备名称 | • 1200°C二通道混气高真空CVD系统-OTF-1200X-4-III-9HV （2019.12.12—科晶实验室审核） |
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| 产品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主要特点 | • 高熔点物质能够在低温下合成 • 不仅可以在基片上进行生长，还可以在粉体表面生长 • 双层壳体结构，便带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55度 • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 • 三个温区，可以独立控温 |
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| 基本参数 | 一、加热炉 • 温度：1100℃（1200℃＜1h） • 总温区长度: 880mm（220 mm + 440 mm + 220 mm ） • 升温速率：≤10℃/min • 三个精密温度控制器分别控制三个温区 • 恒温精度：±1℃ • 热偶：K型热偶 • 电源：AC208-240 50/60Hz • 功率：最大7KW
二、供气系统
三、高真空机组
更多参数请联系科晶销售部 |
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| 加热元件和温控系统 | • 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命） • 包含一款YD858P型温度控制器 • PID自动控温系统 • 智能化50段可编程控制 • 默认DB9 PC通信连接端口 • 通过MET认证 • 可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。 |
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| 炉体结构和炉管尺寸 | • 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 • 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） • 高纯石英管
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| 尺寸 | • 加热炉外形尺寸：1000 L x 430 W x 700 H mm • 供气系统外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm • 高真空机组外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
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| 重量 | • 加热炉约45Kg • 供气系统约36Kg • 真空机组约60Kg |
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| 认证 | • 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
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| 质保 | • 一年质保期，终生维护 • 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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应用技术提示 | 1、供气系统应用提示 • 严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。 • 第一次使用，或长时间不用再次使用时，请分别点击二个“通道清洗”（清洗通道），将管路内有可能存在的污染物或气体进行吹洗。 • 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。 • 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体，否则容易损坏通气管道，混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。 • 由于气瓶内部气压较高，所以向混气系统内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。减压阀应采用调控范围在0.02—0.25Mpa 的专用气体减压阀（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氢）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氩气）等） • 氢气瓶必须使用专用的减压器，开启气瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。 • 气瓶应放置在阴凉通风处，避免阳光直晒，又能耐火的专门建筑物或室外，严禁将气瓶和高温设备放在一起。 • 严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。 • 每只气瓶最低必须保留0.5 MPa的余压。 2、加热炉应用提示 • 不能超温使用加热炉。 • 升温速度不可超过规定加热速度，否则会造成加热元件损坏。 • 为了在管式炉内获得准确的温度，在使用前需要校准温度，请点击这里了解如何使用 3、高真空机组应用提示 • 分子泵关闭以后，必须等待分子泵涡轮停止后才能断电。 • 建议分子泵与腔体间安装有阀门，一旦实验腔体出现意外，可以直接关闭阀门保护分子泵。 • 分子泵上显示的真空度仅代表分子泵进气口端的真空度。 |
警示 | 1、供气系统注意事项 • 严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。 • 不要放在不平或有震动的产所，否则容易引发设备不稳而倾倒的危险。 • 不要将螺钉、垫片等金属物掉进设备内部，否则有使设备发生短路或火灾的危险。 • 不要放在容易溅上水的场所，水等进入产品本体的话，可能引起火灾、触电事故。 • 设备的控制电路部分要进行定期检查（半年检查一次），对线路进行紧固，若发现有线路有绝缘层脱落、接线脱落时应及时处理，否则会导致设备短路或发生火灾的危险。 • 必须由具有专业资格的人员才能更换零件，严禁将线头或金属物遗留在设备内，否则有引发爆炸和发生火灾的危险。 2、加热炉注意事项 • 不要将装有溶液的容器放在仪器上，防止造成仪器短路 • 炉管内气压不可高于0.02MPa • 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 • 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 • 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） 3、高真空机组注意事项 • 使用前请仔细阅读说明书，防止操作不当将导致仪器损坏。 • 真空泵不可以抽腐蚀性或爆炸性气体。 • 真空泵不可以抽冷凝蒸气。 • 真空泵不可以抽液体。 • 真空泵不可以抽粉尘。 • 真空泵不可以抽高温气体。 • 请不要在潜在的爆炸区域进行操作。 • 为了保护环境和人体健康，请使用尾气过滤器，以尽量减少排放污染物。 • 为保护真空泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏，请将冷阱或微粒捕集器连接到泵的前级管上 |
相关可选 |
法兰，法兰结构可以根据实验要求进行组装。 |
可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空 |
您可能需要在真空端部安装一个手动挡板阀 |
可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量 | |
根据实验要求选择国产和进口分子泵 |
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选配机械泵，维持工作区间的低压环境 |
可选购MTS02-B控温模块，可用电脑设置和显示温度程序 | |
温度校准套件 |
可选购欧陆型温控仪表，恒温精确度可以提升到±0.1℃ |
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