| 设备名称 | 双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶实验室审核） |
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| 产品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接； ▪ 两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果。 |
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| 加热炉参数 | ▪ 连续工作温度：1100℃ ▪ 两个炉体都可设置50段升降温程序 ▪ 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） ▪ 电源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
更多参数请联系科晶销售部 |
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| 手套箱参数 | ▪ 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm ▪ 真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接
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| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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| 产品尺寸 | ▪ 炉体尺寸：1600mm(L) ´430mm (W) ´ 500mm(H) ▪ 手套箱尺寸：780mm(L)´ 700mm(W) ´ 650mm(H)
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| 认证 | ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
科晶应用技术实验室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）条件下沉积Sb2Se3薄膜，实验结果如下：
组别 | SEM结果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未经任何处理的样品 |
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| 40.01 | 59.99 |
等离子体处理 |
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| 41.04 | 58.96 |
等离子体处理 min |
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| 41.64 | 58.36 |
等离子体处理5 min |
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| 41.86 | 58.14 |
小结:
（1）等离子体能改变Sb2Se3薄膜的形貌，同时改变Sb2Se3的组成；
（2）随着射频电源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
组别 | SEM结果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、条件下沉积Sb2Se3 |
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| 40.01 | 59.99 |
75W、条件下沉积Sb2Se3 |
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 | |
75W、且补充2粉末（10%质量比Sb2Se3）沉积Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小结:
（1）低功率等离子体条件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高压条件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se会破坏PECVD沉积的Sb2Se3的原子比；
（4）当SnSe2质量比为10%时，可以得到Sb：Sn摩尔比接近于的薄膜，该方法适用于掺杂。
XRD结果
警示 | ▪ 炉管内气压不可高于0.02 MPa； ▪ 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全； ▪ 石英管的长时间使用温度＜1100℃； ▪ 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态； ▪ 此手套箱并非为高真空设计，真空度过高会使手套箱变形； ▪ 橡胶手套不可以在真空状态下操作，真空处理是为了去除手套箱内的水和氧； ▪ 最大正压：1.1 atm（注意：如果手套箱内的气压高于1.1atm时，不可以操作橡胶手套）。 |
应用技术提示 | ▪ 通入炉内气体流量需小于200 sccm，以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击； ▪ 加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02 MPa，需立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出等）。 |
防腐型真空表 （可选） | ▪ 输入电源24V，1A DC（配有电压转换器）； ▪ 测量范围3.8´10-5-1125 Torr； ▪ 数据显示：数显（屏幕尺寸为20´14mm），其单位为torr ▪ 连接：1/8"NPT 接头 ▪ 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L´W´ H)
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炉管 | ▪ 高纯石英管，尺寸50mm O.D ´44mm I.D ´1800 mm L
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温仪表 （可选） | ▪ 单回路、双回路和三回路控制模式； ▪ 每个回路可实现双输入，双保护； ▪ 各回路可PID、串级、比率等回路控制； ▪ 数码显示，配备7个按键，可用于进行各控制回路的切换和参数修改； ▪ 最多可存储50个程序，每个程序最多可有3个不同的设定值（即3条不同的曲线），最多可设置500段升降温程序； ▪ 通讯方式多样，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通讯接口，可连接PC进行远程控制。
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真空系统 （可选） | ▪ 科晶公司提供一系列低真空、高真空及进口高真空设备，以满足在不同真空条件下的实验需求。
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供气系统 （可选） | ▪ 科晶公司提供各种通道浮子、质子流量计可供选择，以实现气体流量的精确控制。
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