设备名称 | 管式炉 GSL-1100X-I/II/III-6”/8.5”/11” |
炉体结构 | · 采用双层壳体结构,并带有风冷系统 · 设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性) · 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) · 该炉可作为退火或扩散炉,最大可将8”晶片放在对应的石英舟上(石英舟尺寸可选) |
基本参数 | · 电源:AC 220V 50HZ · 功率:11KW · 温度:1000℃(1100℃<1h) · 建议升温速率:≤10℃/min · 热电偶:双K型(其中一个为温度巡检器) · 加热元件:掺钼铁铬铝合金 · 加热区长度:900mm(单温区:900mm;双温区:450+450mm; 三温区:300+300+300mm · 炉管尺寸::ф6英寸*1320mm/φ8.5″*1320mm/φ11"*1320mm |
密封法兰 | · 采用铰链式法兰和O型密封圈密封 · 左侧水冷法兰包含真空压力表、不锈钢针阀和1/4’’宝塔嘴接头 · 右侧水冷法兰:KF40抽真空接口,方便连接到KF40使用的波纹管、泵和KF40挡板阀(如您的泵是KF25接口, 您需要配备一个KF40转KF25转接头,可在我公司选购) · 可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用来测试炉管内部的温度 |
温控系统 | · 包含一款YD858P型温度控制器; · PID自动控温系统; · 智能化50段可编程控制; · 控温精度:±1℃; · 每个温区分别有独立的温控系统控制 · 默认DB9 PC通信连接端口; · 通过MET认证; · 可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据; |
设备外形尺寸 | 2180mm(L)*700mm(W)*930mm(H) |
重量 | 约200KG |
质保 | 一年质保期,终生维护 · 特别提示: 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
认证 | · 此产品已通过CE认证 证书编号:M.2021.206.C67996 |
· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压);
· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,
建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,
若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和
防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。