OTF-1200X-5S-4CLV-PE

·射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

·滑轨式可快速加热和快速冷却；   

·单温区，管径130mm 加热区300mm

·可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

·电源：电压要求：AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

·功率：3 KW

·最高温度：1200℃（小于0.5小时）

·连续工作温度：1100℃

·加热区长度：300mm,恒温区长度：100mm(+/-3℃）

·最大升温速率: ≤ 20 °C/min（加热元件寿命原因建议升温速率）

·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

·控制箱和炉体分开,中间通过航空插头连接

·包含一款858P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃）

·PID自动控温系统

·智能化50段可编程控制

·控温精度：±1℃

·默认DB9 PC通信连接端口

·RS485通讯接口

·PC控制软件：可选购PC控温软件，可用电脑控制炉体和记录数据

·采用TRP-12的双旋真空泵；

·KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

·真空度可达10-2Torr。

·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）

·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）

·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）

·流量范围：

 一路0-100 sccm 

 二路0-200 sccm 

 三路0-200 sccm 

 四路0-500 sccm 

·电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

·气体进出口配件：6.35mm的聚四氟管或不锈钢管；

·不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

·PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下

·设备总体尺寸：2300X600X1300mm(长宽高）

·净重：310kg

采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况）