高温MIST /LPCVD系统 MIST-1600-6

· 感应电源型号：SPG-50K-15AB

· 输入电压：三相380±20% 50/60Hz  

· 输入功率：15KW

· 输出电流：7-70A

· 震荡频率：30-100KHZ

· 保护系统：带有水压、过热、功率过高保护

· 加热系统尺寸：线圈内径Φ220mm，高度70mm,采用Φ8水冷铜管绕制，圈数4圈

· 冷却水要求：水压≥0.2Mpa  水流量≥6L/min

          温度设定为30℃。

· 石英炉管：Φ8.5”*500mm

· 石墨样品台：内径φ155mm（可放置6英寸基片）

· 保温材料：石墨毡

上端法兰：

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用

· 一个不锈钢截止阀控制进气；

· KF-16的接口连接一个数显防腐真空计；

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为出气口使用

· 一个不锈钢球阀控制出气；

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为气液混合气的进气口；

· 带安全泄压阀：当气压超过0.02MPa时会自动放气

· 带观察窗口：可观察内部的情况，尺寸φ35mm          

下端法兰：

· 一个φ6.35mm的铠装热电偶接口，热电偶可直接插入到石墨样品台底部

· 一个KF-25抽真空接口   

温控系统：

· 50段智能控温仪，可设置50段升降温程序

· PID方式调节温度

· 带有温度上限报警，超过上限温度会切断加热开关，停止加热

· 控温精度:±1度

· 热电偶：C型 长度400mm

工作温度：

· 最高温度： 1600℃＜1h，1500℃长期使用

· 推荐升温速率：≤2℃/S

· 气液混合罐材料：316不锈钢

· 容积：100ml

· 压力表范围——-0.1-0.15MPa

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用，一个不锈钢截止阀控制进气；

· 一个φ6.35mm的卡套接头作为出气口使用，一个不锈钢截止阀控制出气

   加热部分：

· 出气管道缠绕加热带最高温度可达150度，采用K型热电偶测温，由独立的温控系统进行控温

· 混合罐外面套有加热环，最高温度可达150度，采用K型热电偶测温，由独立的温控系统进行控温

· 材料：氮化硼或石墨

· 喷头直径：φ4”，喷孔直径φ0.5mm

· 气液混合罐的出气口连接到喷头的进气口，采用不锈钢进行连接，管道外采用了加热带进行加热

· 型号：3PC3-011-1100（PCG554）

· 测量范围：800torr到1*10-5torr

· 电源：DC24V ，配有220V转24V的电源适配器

· 型号：CW-6200

· 输入电压：220-240V  50HZ

· 输入电流：2.3-13A

· 最大功率：2.3KW

· 水箱容量：15L

· 型号：无油真空泵 GSP-3

· 电源：AC220V/50Hz

· 功率：0.4KW

· 极限真空度：8.0*10-1Pa（无负载）

· 抽气速率：3L/s

· 抽气口：KF25接口

· 转声：1800rpm

· 型号：GSL-3Z-LCD

· 电源：AC220V/50Hz

· 功率：500W

· 质量流量控制器量程：100.200.500（量程可选，气体可选）

· 三路进气一路出气（进气出气方式可选）

· 机械压力表：-0.1-0.15MPa

· 连接管道；直径φ6.35mm的316材质的不锈钢管

· 触摸屏界面：方便操作

· 可选配氢气探测器在此系统中，可以实时监测设备氢气的泄漏情况；

· 氢气监测范围：1-1000ppm

· 工作温度：-20℃——60℃

· 报警点设置：氢气报警器设置有两个报警，第一级的报警点50ppm，一旦探测到氢气浓度达到此值时，氢气报警器将发出蜂鸣报警声，

   提醒客户检查漏气点。第二级的报警点为100ppm，一旦探测到氢气浓度到达此值时，系统自动关闭氢气进气阀。

700长*1300宽*1600mm高

约100KG

1年（不包含炉管、O型圈、加热元件等损耗件）