| 产品名称型号 | 分体式单靶磁控溅射仪（射频/直流可选，Ar手套箱内可用) VTC-2RF-STX（2英寸） |
| 电源 | AC220V/50HZ |
| 射频电源（选配） | · 输入电源：220V · 输出功率：0-300W · 输出频率：13.56 MHZ · 冷却方式：设备内部的冷却方式为风冷
|
| 直流电源（选配） | · 输入电源：220V · 直流输出功率：0-500W · 最大工作电流：0.75A · 冷却方式：设备内部的冷却方式为风冷
|
| 石英腔室 | ·石英罩：167mm ODx152mm IDx250mm H ·下法兰盖为304不锈钢材质，上法兰盖为铝材质 ·腔室极限真空度 配置机械泵<1pa(7.5*10-2 torr) 配置分子泵<5*10-3Pa(3.7*10-5 torr) ·法兰盖上带有手动泄压阀
|
| 样品台 | · 一个直径为Φ50mm的不锈钢样品台，样品台可转动，旋转速率为：0.5-5 RPM/min； · 样品台标配加热功能，样品台最高加热温度500℃； · 可以根据客户需要选配样品台冷却功能，样品台冷却最低温度5℃。
|
| 溅射靶头 | · 标配2英寸的磁控溅射头，内部嵌有冷却水管，可以通水冷实现对磁钢和靶材的冷却，从而能够可以长时间进行溅射； · 配有一手动操作的挡板，当第一次溅射清除靶材表面的氧化层和污物层，挡住基片，防止污染基片； · 样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围：60-80mm。 （可根据客户要求选配1英寸的磁控溅射头）
|
| 靶材 | · 设备标配一块铜靶材，尺寸：φ50.8mm(2″)x 3 mm(厚度)； 客户如果需要其它靶材，可联系销售进行订购， · 可选购溅射靶材：Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn等。 · 要求靶材尺寸：Φ50.8mm×0.1- 5mm(厚度） |
| 馈通（选配） | · 如果您打算在手套箱内使用此设备，请选配 KF40 馈通，用于连接手套箱外的电源、冷水机和真空泵
|
| 水冷设备（选配） | · 型号：KJ-5000 · 工作电流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（长×宽×高）
|
| 薄膜测厚仪（选配） | · 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分别率为0.10 Å · LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据
|
| 真空泵（选配） | ·机械泵型号：VRD-8 ·抽速：2.2L/S（8m3/h） ·进气口：KF25 ·工作环境温度：5-40℃ ·噪音：≦56 dB ·极限真空度：5*10-4 torr（不带负载） ·为了达到更好的镀膜效果，可选购分子泵对溅射腔体抽真空， 真空度可达到10-5Torr
|
| 外形尺寸 | · 主机尺寸：460Lx300Wx715H mm
|
| 重量 | 20KG |
| 保质期 | 1年（不包含喷头、加热元件、注射器等损耗件） |
注意事项 | · 腔室内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
查看诚信档案
皖公网安备 34012302000974号
