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供气系统CGM-2F
- 关键字:
- 两通道、惰性气体
- 型号:
- CGM-2F
- 产品概述:
- CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用于小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统等
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号
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供气系统 CGM-2F |
产品特点
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· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。 · 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 · 显示流量准确,可有效控制气体的消耗量 · 重量轻,方便移动 · 使用方便,无需通电 |
基本参数
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· 浮子流量计量程:16-160ml/min · 压力表量程:-0.1-0.15MPa · 通气管道:φ6.35mm的聚四氟管 |
混气罐
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· 内置一个不锈钢混气罐,可更好的混合气体 · 混气罐尺寸:直径64*长120mm |
气口与阀门
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· 背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头,进气口通过四氟管连接气瓶,出气口通过四氟管连接到设备的进气口 · 前面板的三个不锈钢针阀控制气体的进出 |
设备外形尺寸
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340mm(L)*300mm(W)*180mm(H)
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重量
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约6KG |
质保
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一年保修,终身技术支持 · 因人为损坏或操作不当造成的损坏不在保修范围内 · 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
注意事项
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· 气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,开启减压阀时应注意其工作压力使其PMAX<0.01MP,以免压力过大造成气路损坏 · 本设备不建议,不提倡使用,易燃易爆、有毒有害气体。如果不采纳我公司的建议,在使用过程中,出现人生安全及设备的损坏,本公司该不负责。 |
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