| 设备名称与型号 | 2英寸等离子磁控镀膜仪 （可选直流射频电源)-VTC-2RF |
| 基本参数 | · 电源：AC 220V 50HZ · 功率：＜1800W |
| 射频电源 | · 输入电源：220V 3A · 输出功率：0-300W · 输出频率：13.56 MHZ · 冷却方式：设备内部的冷却方式为风冷 · 尺寸：444（长）*410（宽）*128（高）
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| 磁控溅射头 | · 2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接 · 靶材尺寸要求：φ50*（0.1-5）mm厚 · 2英寸磁控溅射头可承受最大射频功率：300W · 2英寸磁控溅射头可承受最大直流功率：500W |
| 溅射腔室 | ·腔室尺寸：外径φ166*内径φ150*高250mm，采用高纯石英制作 · 密封法兰:直径为174mm 采用金属铝制作，采用氟胶密封圈密封 · 法兰盖上安装了一个可手动操作的挡板，用于靶材的预溅射，法兰盖上包含一个φ6.35的卡套接头用于连接进气管。 · 一个不锈钢网罩罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子体 · 腔室真空度：<1.0×10-2 Torr （采用双极旋片真空泵）,<5×10-5 torr （采涡旋分子泵） · 如果需要更高真空度，可以定做不锈钢真空腔室（真空度可以达到5*10-6torr以下）
· 腔体进气口为Φ6.35mm的不锈钢双卡套接头，通过聚四氟管可与气瓶连接，并通过一个精密微量调节阀控制进气量的大小。 |
| 样品台 | · 样品台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热 · 样品台尺寸：直径50mm （最大可放置2英寸的基片） · 旋转速度：1- 10 rpm（可调速） · 样品台的最高加热温度为700℃(短期使用，恒温不超过1小时)，长期使用温度500℃ · 控温精度：±10℃
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| 真空显示单元 | · 真空计型号：ZDZ-52T · 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa · 有效范围：3.0×103Pa~1.0×100Pa · 配接硅管：ZJ-52T/KF16 · 面板尺寸：96*96 mm · 真空计配套的规管只能测量空气和氮气，有其他气体成分比例较大的场合需另外修正。 |
| 真空系统（选配） | · 抽真空接口为KF25接口 · 真空泵型号：VRD-16 · 抽气速率：4.4 L/S · 电机功率：750 W · 极限压强：5×10-1Pa（不带负载） |
| 水冷设备（选配） | · 型号：KJ-5000 · 工作电流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（长×宽×高） · 水箱容量：6L · 水流速率：16L/min
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| 薄膜测厚仪（可选） | · 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å · LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据
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| 外形尺寸 | 设备尺寸：长550mm×宽550m×高1100mm 炉架尺寸：长600mm×宽600m×高600mm
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| 重量 | 约55KG |
| 保质期 | 1年（不包密封圈等损耗件） |
注意事项 | · 腔室内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
