1100℃流化床CVD(FBCVD)炉 (配φ22mm法兰用于粉末CVD)
关键字:
管径Φ25mm
型号:
OTF-1200X-SFB
产品概述:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式炉,Φ25mm石英炉管(炉管中心区域直径为Φ50mm),用于粉末CVD实验(FBCVD)。石英管中焊接一个微孔石英板,实验时样品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允许调节气流通过微孔石英板,使粉末在炉体加热区域悬浮起来,粉末和反应气体发生反应或沉积。
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流化床区域

· 在炉管内部的一个横截面上能到达一个均匀的气流分布

· 固体颗粒通过上升的气体,稳定地悬浮在一个区域

· 对于每一个样品颗粒都能达到一个极好地热交换和包覆效果

· 打开密封法兰,处理好的材料可从炉管顶部倒出

注意:气体以足够高的流速上升穿过微孔石英板使粉末漂浮起来。然而如果气体流速太高,粉末可能会飞出石英炉管。所以用户需根据粉末的颗粒度,调节气压和流速,使粉末稳定地漂浮在炉管中心。

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微孔石英板

· 石英管内焊接有一个微孔石英管,炉管顶部和底部进气,强制气体对流,使粉末样品颗粒均匀漂浮在加热区中心

   微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm  x 4mm (厚)

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可选炉管

可选SS310不锈钢罐,可高温高压使用

最高温度:800℃

最大气压10MPa(安装有一个自动泄压阀)

可增加ALD系统,与设备配合,对粉体材料包覆

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炉体结构

双层壳体结构,并带有风冷系统

炉体开启式设计,方便更换炉管

采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,最大提高加热效率


功率

1200W


电压

AC208~240V  单相   50/60Hz


最高工作温度

1200℃(<1小时)


连续工作温度

1100℃


最大加热速率

20℃/min


炉管尺寸和材质

1根异形石英管,两端细,中间粗

两端:外径25mm×内径22mm,  中间:外径50mm×内径44mm

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密封法兰

底部法兰:配有一套直径为Φ25mm,安装有机械压力表,阀门和Φ6.35mm通气接口

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可选

可选购混气系统,用于CVD或ALD实验

可选购氧传感器,来检测炉管内部的氧含量

可选购超声喷雾系统,可将液体前驱体雾化到炉管内部

可选购自动粉料进料机构

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加热区

200mm


恒温区

60mm


加热元件

 Fe-Cr-Al 合金掺 Mo


温控系统

· 可设置50段程序段:加热速率,降温速率和保温时间

· PID方式调节温度,温度自整定功能,带有超温&断热电偶报警

· 超温保护和报警,避免操作事故发生

· 控温精度:±1℃

K型热电偶


设备尺寸

340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)


净重

~20Kg


电脑&软件(可选)

Labview温度控制软件系统(MTS01)可用于用电脑控制炉体:编辑温度程序参数和导出实验数据

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质保

一年质保期,终生维护(不含炉管,密封圈和加热元件等耗材)


质量认证

CE


警告

此管式炉炉管为石英管可在低压或常压环境下使用,炉管内正压需<0.02MPa

注意:气瓶上必须安装双级减压阀,出口气压需减到0.02MPa

当设备使用温度≧1000℃时,为防止炉管变形,炉管内必须为常压,不可为负压


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