·1400W 2.45GHz 微波腔体

·不锈钢和铝壳体阻止微波泄漏

·最高加热加热速率：20℃/min

·加热模块在温度腔体内，最高加热温度1200℃

·精密温度控制器，可设置30段温度段，控温精度±1℃

·高纯氧化铝纤维作为绝热材料，提高加热效率

·最大功率：2000W

·电压：208~240VAC，单相，50/60Hz

·频率：2.45GHz±25MHz

·功率输出：1400W

·微波泄漏：≤3mW/cm2 (在离设备1米以外）

·Ni-Cr-Al丝作为加热元件，高纯氧化铝纤维作为炉膛绝热材料，炉膛直径为Φ80mm (图1）

·加热模块安装在微波腔体内

·炉管为高纯石英管，尺寸：外径50mm×内径44mm×长度600mm(图2）

·一对真空密封法兰安装在石英炉管两端

·KF25真空接口和1/4英寸进气和出气口，不锈钢针阀安装在法兰上（图1）

·一个数显型防腐真空计安装在法兰上，用于显示炉管内真空度（图2）

·真空度：10-2torr（采用干泵）  10-5Torr(采用分子泵系统）

·设备中不包含真空泵，需要额外花费用购买，对于CVD实验建议选用干泵（图3）

·最高工作温度：1200℃（＜30分钟，采用加热加热模块辅助）

·最小温度：800℃（采用加热模块辅助）

·连续工作温度≤1100℃（加热模块辅助和等离子体）

·加热速率：1~20℃/min (可设置）

·仅仅通过微波约可以加热温度为750℃

·可设置50段温度段：加热速率，保温时间，降温速率

·SCR温度控制

·超温和断偶保护

·控温精度：±1℃

·一根K型热偶插入到炉管内部

30kg

·微波发生器： 560(L) x 410(W) x 340(H) mm

·设备总深度（包括炉管和法兰）：780mm

·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm

·一年质保期，终生维护

·耗材：坩埚，炉管。加热元件和密封圈不在质保期内