RTP快速退火炉—产品对比速览

发布时间:2020-07-10

①性能参数


设备型号

工作温度

升温速率

控温精度

功率

产品特点

OTF-1200X-4-RTP

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(连续)

≤50℃/S

±1℃

12KW

1、法兰上安装有滑轨

2、可快速升降温

RTP-1000-LCD

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(连续)

≤50℃/S

±1℃

12KW

1、多通道质子流量计控制系统

2、法兰上安装有滑轨

OTF-1200X-IR-IISL

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(长期)

室温~800℃: 50 ℃/s

800℃~900℃: 10℃/s

±1℃

24KW

1、双温区开启式

2、可选装波纹管推拉式伸缩架

OTF-1200X-RTP-4-SL

最高900℃(<10min)

800℃(<30min)

600℃(长期)

≤50℃/S(室温~800℃)

≤10℃/S(800~900℃)

±1℃

12KW

炉低安装一对滑轨

OTF-1200X-80SL

1100℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

炉低安装一对滑轨

OTF-1200X-III-80SL

1100℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

7KW

1、三温区开启式

2、炉低安装一对滑轨

TCVD-OTF-1200X-S2-50SL

1000℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

双炉体滑动

OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL

1000℃(连续)

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

3KW

1、双石英管设

2、炉低安装一对滑轨

GSL-1100X-III-D11

1000℃(连续)

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

24KW

1、大型三温区管式炉

2、炉低安装一对滑轨

OTF-1200X-S-DVD

1100℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

1.5KW

1、可通过磁铁推动坩埚移动

2、高热传导性的氧化铝样品盘

GSL-1600X-FS3KW

800-1600℃(连续)

1650℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

5.5KW

1、配备电极法兰实现电场辅助闪烧

2、滑轨式水平推进送料系统

3、左端法兰:含低真空带石英观察窗口

GSL-1100X-RTP50

1000℃(连续)

1100℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

2.5KW

1、单端封口石英管

2、右侧法兰安装滑轨

OTF-1200X-50S-SL

1100℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

1.5KW


OTF-1200X-S-HPCVD

1100℃(连续)

1200℃(≤30min)

≤10℃/min

±1℃

2KW

1、坩埚可在管内移动

2、右端法兰与真空不锈钢波纹管连接




②外形参数


设备型号

加热元件

炉管尺寸及材料

外形尺寸

重量

OTF-1200X-4-RTP

8根红外灯管

高纯石英管Φ110

760×330×530mm

70kg

RTP-1000-LCD

8根红外灯管

高纯石英管Φ110



OTF-1200X-IR-IISL

16根红外灯管

高纯石英管Φ110



OTF-1200X-RTP-4-SL

8根红外灯管

高纯石英管Φ4"×1400mm



OTF-1200X-80SL

掺钼铁铬铝

高纯石英管Φ80×1400mm



OTF-1200X-III-80SL

掺钼铁铬铝

高纯石英管Φ80×2400mm



TCVD-OTF-1200X-S2-50SL

掺钼铁铬铝

高纯石英管Φ50×1500mm



OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL

掺钼铁铬铝

高纯石英管

Φ80×1800mm(内管)

Φ100×1400mm(外管)



GSL-1100X-III-D11

掺钼铁铬铝

外管尺寸:

280 OD× 270 ID×2070 mm L

内管尺寸:

254 OD×244 ID×2310 mm L



OTF-1200X-S-DVD

掺钼铁铬铝

高纯石英管Φ50×1000mm



GSL-1600X-FS3KW

硅钼棒

高纯刚玉管80 OD×76 ID×1000Hmm



GSL-1100X-RTP50

硅碳棒

高纯石英管

50 OD×44 ID×304.8mmL



OTF-1200X-50S-SL

掺钼铁铬铝

高纯石英管50 OD×45 ID×1000mmL

1200×400×500mm

50kg

OTF-1200X-S-HPCVD

掺钼铁铬铝

高纯石英管50 OD×44 ID×450mmL




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