| 产品名称 | · 1100℃双管滑动快速加热冷却炉 |
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| 产品提示 | 1.多种配件可选提示 2.科晶实验室邀请提示 3.配件妥善保管提示 |
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| 主要特点 | · 双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。（见下图） · 两根炉管上安装有真空密封法兰，允许反应气体在两个管（10mm间距）之间流动，惰性气体在管内流动以进行冷却。 · 搭载由多通道流量控制系统和真空泵共同组成的CVD系统。 · 炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。 · 包含一个止滑夹，用于固定炉子的位置。 · 最高温度可达1100℃。 · 双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度。 · 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 · 开门断电，提高实验安全性。 |
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| 基本参数 | · 最高温度: 1100℃（≤30min） 工作温度: 1000℃ · 推荐升温速率:≤10℃/min · 加热元件：掺钼铁铬铝合金 · 电压：220V · 可根据需求选择单温区或双温区两种炉膛。（双温区见下图） · 加热炉额定功率：3KW（不包括CVD系统） · 加热区：400mm（单温区），200mm*2（双温区） |
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| 炉管及滑轨 | · 高纯石英管80mm外径x 1800mm长 · 高纯石英管100mm外径x 1400mm长 · 镀铬钢制成的双滑轨 |
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| 真空法兰 | · 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端，便于组装。 |
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| 多通道质子流量计控制系统 | · 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。 · 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。 · 采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。 · 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。 · 多通道质子流量计系统参数： · 输入电压：AC 220V/50Hz单相 · 功率：23W
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| 真空系统 | · 此设备可根据需求配置合适的真空泵组。 ·GZK-101低真空机组： ·工作电电压：220V，50~60HZ ·功率：1KW ·系统极限真空度：1.0*10-1Pa ·抽气速率：4.4L/ S
· 103G高真空机组：
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| 温控系统 | · 采用PID方式调节温度，可设置50段升降温程序 · 温控仪表中带有过热和断偶保护 · 仪表控温精度: +/- 1°C |
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| 开门断电 | · 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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| 质保期 | · 一年保修，终身技术支持。 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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应用技术提示 | · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。 · 进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 · 石英管的长时间使用温度<1100℃。 · 降温时请利用程序降温，不建议直接按“STOP”键降温，设备温度未降到室温前不要直接关掉设备电源，防止出现安全问题。
· 严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。 · 第一次使用，或长时间不用再次使用时，请分别点击二个“通道清洗”（清洗通道），将管路内有可能存在的污染物或气体进行吹洗。 · 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体，否则容易损坏通气管道，混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。 · 由于气瓶内部气压较高，所以向混气系统内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。减压阀应采用调控范围在0.02—0.25Mpa 的专用气体减压阀（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氢）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氩气）等） · 氢气瓶必须使用专用的减压器，开启气瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。 · 气瓶应放置在阴凉通风处，避免阳光直晒，又能耐火的专门建筑物或室外，严禁将气瓶和高温设备放在一起。 · 严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。 · 每只气瓶最低必须保留0.5 MPa的余压。 |
警示 | · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 · 炉管内气压不可高于0.02MPa。 · 炉管不建议正压使用，对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。 · 滑动加热室即可快速冷却样品。 如果要这样做，请穿戴防护装备，例如耐热服和手套。 加热时请勿触摸管子表面。 · 如需高温取样，请务必穿戴好安全装置.
· 不要放在不平或有震动的产所，否则容易引发设备不稳而倾倒的危险。 · 不要将螺钉、垫片等金属物掉进设备内部，否则有使设备发生短路或火灾的危险。 · 不要放在容易溅上水的场所，水等进入产品本体的话，可能引起火灾、触电事故。 · 设备的控制电路部分要进行定期检查（半年检查一次），对线路进行紧固，若发现有线路有绝缘层脱落、接线脱落时应及时处理，否则会导致设备短路或发生火灾的危险。 · 必须由具有专业资格的人员才能更换零件，严禁将线头或金属物遗留在设备内，否则有引发爆炸和发生火灾的危险。 |
可选配件 | · 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）。(图1) · 可选购压力控制模块来监控并保持工作腔室压力稳定。(图2) · 可选购欧陆仪型温控仪表，控温精度可以提升到±0.1℃。(图3) · 可选购石英管堵，提高路管内的洁净度和帮助获得高真空。（图4） · 可选购石英舟盛放样品。（图5） · 可在本公司购买生长石墨烯的铜箔。（图6）
图一 图二 图三 图四 图五 图六 |
PC控制(选配） | · 请在购买炉子前，准备一台电脑。 · 可选购MTS-02 控制软件，可在电脑上显示和设定压力和温度程序，以达到远程控制。 · 购买带有PC控制的加热炉，如有疑问请联系我们的销售人员。
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真空配件(选配） | · 真空可选配件包括真空泵，波纹管和手动挡板阀。
· 对于易损耗件高温硅胶O型密封圈除了标配数量外可进行额外订购。
· 机械真空计（作为设备标配），范围从-0.1到0.15Mpa。 · 可选配防腐型数显真空表，测量范围为3.8×10E -5至1125 Torr之间。除了具有较高的精度和重复性及较短的响应时间外，该仪表还降低了由于气体类型依赖性而造成的气压读数错误从而导致的腔室爆炸风险。
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水冷机（选配） | · 可选购水冷机降低法兰总成温度，避免高温密封硅胶圈融化。
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改造单管炉(选配） | · 可通过订购额外的密封法兰并将其安装到内管上，从而形成单管反应室： · 法兰两端分别有1/4''直通接头供客户插入测量传感器（例如用于温度校准的可插入热电偶），带有机械压力表和KF25接头。
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