智能双温区PECVD系统 OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL（2021.02.01—科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

·智能控制模块，参数显示更直观更易操作；

·射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

·4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控；

·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。 

           操作视频

·双温区炉膛

·最高温度: 1200℃（≤2h）

·额定工作温度: 1100℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

（最高40℃/min 800℃ 注：急速升温影响设备使用寿命）

·加热区长度: L总：400mm；

             温区一：200mm

             温区二：200mm

·加热炉额定功率：3KW/220V （配置空开30A）

·滑动方式：手动

·电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ

·石英管堵

·炉管规格：外径:80mm，内径:74mm，L长: 1800 mm

·材料：高纯石英

·模糊PID控制和自整定调节功能

·智能化50段可编程控制

·具有超温及断偶报警功能

·控温精度: ±1℃

·带RS485通讯接口  PC接入，并附带控制软件，加热炉数据可每分钟记录保存一次。

·带过电流过电压保护 漏电保护

电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准

传统PECVD与开发的智能通讯模块组合，可对传统PECVD实现自动化升级

▪ 可自由搭配各种系统控制组合自定义CVD系统，例如温控系统可选择温区或各品牌仪表控制；气路系统可选择设备型号，计算气体总摩尔质量，可以搭配射频电源系统，真空系统等我公司生产的其他CVD系统模块，通过智能控制盒和上位机自定义CVD生态控制系统实现随意自定义组合CVD系统控制生态平台，控制可搭配触摸式一体机或者WIFI连接笔记本和台式设备，搭配智能控制盒扩展接口可利于客户后期采购任意CVD模块升级现有CVD设备，例如后期增加压力可控模块可在购买该系统模块后连接通讯线至智能控制盒，在软件界面选择该系统模块即可在现有的CVD模块控制界面添加压力可控功能。

▪ 使其具备了自动化运行，数据存储，以及远程操作性能

该模块可对所有我公司CVD模块进行连接，并搭配家用路由器可实现无线远程的操控和存储。

·500W射频电源

·0--500W可调（稳定性±1%）

·射频频率：13.56MHZ

·自动匹配 风冷

·噪音＜50dB

·输入电压：AC108-250V

·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）

·流量范围：一路0-100 sccm 

        二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 

·连接接口：6.35mm双卡套连接

·金属管路：材质：SUS316

φ外：6.35mm φ内：4mm

·软管路：材质：特氟龙

φ外：6.35mm φ内：4mm

注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下

·采用TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）

·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

·配置KF-25真空手动挡板阀

·真空度可达10^-2Torr

·炉体尺寸：2200 mm L*850mmW*1400mm H；

·CE认证

·所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

·如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

·一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）