坩埚移动管式炉 OTF-1200X-DVD
关键字:
坩埚移动 开启式
型号:
OTF-1200X-DVD
产品概述:
OTF-1200X-DVD是一款真空或气氛下坩埚可在炉管内移动(靠无杆气缸+步进电机控制)小型开启式管式炉,最高温度1200℃,通过触摸屏可以设置样品或坩埚在炉管内的位置,以及读取样品在管内的实时温度,此设备可以进行钛片退火处理、快速热处理,例如混合物理化学沉积(HPCVD),快速热蒸发(RTE),以及在各种气氛下进行的水平布里奇曼晶体生长(HDC),用于新一代晶体研究。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

坩埚移动管式炉 OTF-1200X-DVD


简介
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结构简介

无杆气缸组件简介


产品特点

· 通过无杆气缸+步进电机实现坩埚在管内移动

· 坩埚底部有测温热电偶实时检测样品温度

· 左端法兰采用卡箍连接方便取放样品

· 可选择改造为双温区管式炉,但需额外付费,以产生更高的热梯度或更长的恒温区。

特别推荐:视频会议产品展示(请点击此链接)


加热炉系统

· 输入电源 AC 单相220V 50/60HZ,最大功率:3.5KW

· 最高工作温度:1200℃(<30min),长期工作温度:1100℃

· 热电偶两根:两根进口K型热电偶,一根用于炉子控温

 一根检测样品温度。

· 加热元件:掺钼铁铬铝合金

· 加热区长度:400mm

· 推荐升温速率:10℃/min

· 石英管 外径80mm x内径74mm x 1000mm L

· 包含一款858P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃)

· PID自动控温系统

· 智能化50段可编程控制

· 控温精度:±1℃

· 默认DB9 PC通信连接端口


不锈钢密封法兰系统

·不锈钢密封法兰,密封法兰和石英管之间采用硅胶O型圈+压环型圈密封方式。

·左端法兰装有机械压力表和进气截止阀,1/4英寸进气口,用卡箍连接,方便拆卸,如下图。

·左端法兰和无杆气缸连接侧有石英隔热挡板和石英坩埚,热电偶测温点位于样品正下方。如下图

·左端法兰+无杆气缸放置在直线滑台上。

·右端法兰上装有出气截止阀,一个KF25接口用于抽真空。

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坩埚移动+PLC系统

· 通过触摸屏可视化控制操作

· 一个K型的铠装热电偶通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。

· 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),最大行程为200mm。(根据无杆气缸组件配不同的炉子行程不同,客户可定制行程)

· 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(可根据要求提供变速控制,需要定制速度购买前请与销售沟通,

  但需额外付费)。

· 在热电偶上安装了一个微型坩埚舟。

· 可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架,将收取额外的定制费

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真空系统(选配)

· 配套机械泵,真空度可以达到10-2 ttor

· 配套分子泵,真空度可以达到10-5 ttor

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产品尺寸

外形尺寸:2400X450X700mm(长*宽*高)

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更多参数请联系我们


重量

150kg


保质期

1年(不包含炉管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件)


认证

· 此产品已通过CE认证

 证书编号:M.2021.206.C67998

产品在线展示

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使用注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa;

· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,

为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减

压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关

闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须

立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易

燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒

气体而造成的相关问题,本公司概不负责。


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