设备名称 | 坩埚移动管式炉 OTF-1200X-DVD |
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简介 |
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产品特点 | · 通过无杆气缸+步进电机实现坩埚在管内移动 · 坩埚底部有测温热电偶实时检测样品温度 · 左端法兰采用卡箍连接方便取放样品 · 可选择改造为双温区管式炉,但需额外付费,以产生更高的热梯度或更长的恒温区。 |
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加热炉系统 | · 输入电源 AC 单相220V 50/60HZ,最大功率:3.5KW · 最高工作温度:1200℃(<30min),长期工作温度:1100℃ · 热电偶两根:两根进口K型热电偶,一根用于炉子控温 一根检测样品温度。 · 加热元件:掺钼铁铬铝合金 · 加热区长度:400mm · 推荐升温速率:10℃/min · 石英管 外径80mm x内径74mm x 1000mm L · 包含一款858P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃) · PID自动控温系统 · 智能化50段可编程控制 · 控温精度:±1℃ · 默认DB9 PC通信连接端口 |
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不锈钢密封法兰系统 | ·不锈钢密封法兰,密封法兰和石英管之间采用硅胶O型圈+压环型圈密封方式。 ·左端法兰装有机械压力表和进气截止阀,1/4英寸进气口,用卡箍连接,方便拆卸,如下图。 ·左端法兰和无杆气缸连接侧有石英隔热挡板和石英坩埚,热电偶测温点位于样品正下方。如下图 ·左端法兰+无杆气缸放置在直线滑台上。 ·右端法兰上装有出气截止阀,一个KF25接口用于抽真空。 |
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坩埚移动+PLC系统 | · 通过触摸屏可视化控制操作 · 一个K型的铠装热电偶通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。 · 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),最大行程为200mm。(根据无杆气缸组件配不同的炉子行程不同,客户可定制行程) · 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(可根据要求提供变速控制,需要定制速度购买前请与销售沟通, 但需额外付费)。 · 在热电偶上安装了一个微型坩埚舟。 · 可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架,将收取额外的定制费 |
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真空系统(选配) | · 配套机械泵,真空度可以达到10-2 ttor · 配套分子泵,真空度可以达到10-5 ttor |
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产品尺寸 | 外形尺寸:2400X450X700mm(长*宽*高) 更多参数请联系我们 |
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重量 | 约150kg |
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保质期 | 1年(不包含炉管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件) |
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认证 | · 此产品已通过CE认证 证书编号:M.2021.206.C67998 |
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产品在线展示 |
使用注意事项 | · 石英管内气压不可高于0.02MPa; · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀, 为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减 压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全; · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关 闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须 立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易 燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒 气体而造成的相关问题,本公司概不负责。 |