1200℃三温区双管CVD炉 (制备石墨烯薄膜)
关键字:
真空、电阻丝、开启式
型号:
OTF-1200X-III-D5- 4
产品概述:
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三温区的双管炉,其最高工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
特征
  • 石英炉管外管直径为 130 mm,内管直径为101mm,使用时把金属箔附在内管壁上

  • 特殊的真空法兰可以使反应气体通过两管之间冷却气体可以从内管通过,对基底进行快速冷却

  • 最高工作温度:  1200°C(点击图片查看详细资料)


炉体结构
  • 三个加热温区总长: 900mm36"

  • 温区 1: 229mm  (9")

  • 温区2: 457mm  (18.0")

  • 温区3: 229 mm (9")

  • 恒温区:625mm(三个温区设置同样的温度) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

  • 恒温精度: +/- 1°C

  • 三个温区采用PID50段程序化独立控制

  • 控温精度: +/- 1° C

  • 最高工作温度:1200℃

  • 连续使用温度:1100℃

  • 推荐升温速率: <= 20°C /min   


炉膛

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

电源
  • AC 208-240V 单相, 50/60 Hz (需要40A 的空气开关 ).

  • 最大功率:7 KW


炉管
  • 炉管为高纯石英管

  • 外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm

  • 内管尺寸: 102mm O.D. x   94 mm I.D. x 1540 mm


炉体尺寸

1030 x 430 x 580 mm

净重

90 kg

质保期

一年质保期(不包含炉管,加热元件和密封圈损耗件)

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa

  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

  • 石英管的长时间使用温度<1100℃

  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)


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